Grosimea peliculelor metalice de Nb şi nanostructurilor Nb-CuNi, obţinute prin depunerea în vid (10-7 mBar), variază în intervalul de grosimi
de la 5 pînă la 50 nm.
Temperatura de tranziţie supraconductoare (Tc ≥ 5.5 K) este performantă pentru nanostructurile Nb-CuNi subţiri de 5 nm.
Tehnologia propusă va servi baza elaborării unei noi generaţii de dispozitive microelectronice – valve de spin supraconductoare pentru sisteme cu frecvenţă înaltă, telecomunicaţii şi calculatoare rapide.
Pentru a asigura o stabilitate a paramertilor în timp a fost utilizată metoda de pasivizare prin acoperirea suprafeţei cu un strat protector de siliciu amorf cu grosimea de 5-6 nm.
Procesul tehnologic elaborat permite fabricarea nanostructurilor peliculare de calitate înaltă, reproductibile şi stabile în timp pentu microelectronică.
Procesul este în curs de testare.
Stay informed on our latest news!
© Academia de Ştiinţe a Moldovei,
Agenţia pentru Inovare şi Transfer Tehnologic